優點:
● 提高溫度測量準確性
● 提高晶圓間的均勻性
● 提供性價比更高的熱電偶類測量替代方案
● 提高生產率、產量和生產能力
特點:
● 緊湊的單通道設計
● 原位、非接觸式溫度測量
● 支持RS-232和模擬數據接口,溫度讀取速率高達20次/秒
● 提高低溫測量的性能
優點:
● 提高溫度測量準確性
● 提高晶圓間的均勻性
● 提供性價比更高的熱電偶類測量替代方案
● 提高生產率、產量和生產能力
特點:
● 緊湊的單通道設計
● 原位、非接觸式溫度測量
● 支持RS-232和模擬數據接口,溫度讀取速率高達20次/秒
● 提高低溫測量的性能
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